Программное обеспечение для управления MeX

для анализадля измеренийдля резки

MeX - это отдельный пакет программного обеспечения, который превращает любую РЭМ с цифровой визуализацией в настоящий прибор для метрологии поверхности. Используя стереоскопические изображения, программное обеспечение автоматически извлекает 3D информацию и представляет высокоточный, надежный и плотный 3D набор данных, который затем используется для проведения прослеживаемого метрологического исследования. Результаты получаются независимо от увеличения SEM, обеспечивая метрологию на макро- и микроуровнях. Для работы MeX не требуется дополнительного оборудования, и он может использоваться с любой РЭМ. Благодаря уникальной процедуре автокалибровки калибровочные данные автоматически уточняются. Таким образом, только MeX позволяет проводить прослеживаемые 3D-измерения при любом увеличении в РЭМ. Измерение высоты и шероховатости Измерение профиля позволяет выполнять виртуальную резку образца. Пользователь задает траекторию на оптическом изображении и получает соответствующий 3D профиль. Измерения шероховатости и контура соответствуют признанным международным стандартам EN ISO, таким как 4287/4288. Анализ профиля также позволяет подгонять примитивы, такие как круги, углы или другие. Анализ объема Анализ объема вычисляет объем пустот и выступов. Область измерения определяется непосредственно на оптическом изображении. Объем определяется в процессе расчета модели мыльной пленки. Для 3D-границы выбранной области MeX рассчитывает покрывающую поверхность, которая ведет себя как мыльная пленка. Измерения площади Анализ площади позволяет определить Sa, Sq и Sz по поверхности. Достигаются такие параметры, как шероховатость, волнистость и фрактальная размерность заданных пользователем участков поверхности.