Высокоточная бесконтактная измерительная система
Обеспечивает сверхвысокую точность с линейностью ±0,5 мкм во всем диапазоне измерений (от 0,05 мм до 10 мм) и ±(0,3+0,1ΔD) мкм в узком диапазоне.
Сверхвысокая повторяемость ±0,04 мкм.
Высокая скорость сканирования 3200 скан/с
Разрешение
(выбирается):
0,00001 - 0,01 мм
Линейность при 20°C *¹:
Весь диапазон :
± 0,5 мкм
Узкий диапазон :
±(0,3+0,1ΔD) мкм
Погрешность позиционирования *²:
±0,5 мкм
Область измерения:
2 x 10 мм (ø0,05-0,1 мм)
4 x 10 мм (ø0,1-10 мм)
Длина волны лазера:
650 нм, видимый
Скорость сканирования:
3200 сканов/с
Скорость сканирования:
113 м/с
Применимые лазерные стандарты:
IEC, FDA
Повторяемость (±2ơ):
±0,04 мкм
Дюймовый-метрический:
Метрический
---