Анализатор для материалов MSA-650 IRIS

давлениянастольныйдля аэронавтики

Динамическая характеризация МЭМС-устройств для измерения и визуализации механической реакции важна для разработки продукции, устранения неполадок и проверки FE-моделей. Анализаторы микросистем MSA от Polytec обеспечивают быстрые и точные оптические измерения внеплоскостного (OOP) и внутриплоскостного движения (IP). До сих пор эта возможность ограничивалась распакованными устройствами, к которым есть оптический доступ. Теперь же анализатор микросистем Polytec MSA-650 IRIS позволяет проводить измерения даже через неповрежденные кремниевые крышки на герметичных микроструктурах, таких как, например, интерстициальные датчики, МЭМС-микрофоны, датчики давления и др. Основные моменты Возможность измерения динамики МЭМС через различные слои Si-крышек Измерение отклика вне плоскости в реальном времени до 25 МГц (без постобработки) Субпикометровое разрешение внеплоскостного смещения Простая проверка FE-модели МЭМС в конечном состоянии Превосходное разделение отдельных слоев устройства Стробоскопический видеомикроскоп для измерения перемещений в плоскости до 2,5 МГц Автоматизированная система, хорошо интегрируемая в производство (совместимость с зондовыми станциями) Измерительное решение MSA-650 IRIS "под ключ" включает в себя контроллер, функциональный генератор с дополнительными опорными каналами, мощный программный пакет для оптического сканирования и оптическую головку датчика со сложной ИК-оптической конструкцией. Благодаря специальной ИК-камере и низкокогерентному SLD-источнику это лучшая полнопольная система измерения вибрации для захвата целых слоев образца через кремниевые колпачки в рабочих условиях. Эта запатентованная технология интерферометра обеспечивает превосходное качество данных благодаря превосходному разделению отдельных слоев устройства.