Анализ и визуализация топографии поверхности и динамического движения являются ключевыми для тестирования и разработки микроструктур, таких как устройства MEMS (микроэлектромеханические системы). Они незаменимы для подтверждения расчетов FE, определения эффектов перекрестных помех и измерения деформации поверхности. Анализатор микросистем MSA-600 - это универсальная оптическая измерительная рабочая станция для определения топографии поверхности, а также перемещений в плоскости и вне плоскости.
Версии MSA-600-M/V охватывают частотные диапазоны до 25 МГц, идеально подходящие для МЭМС, МЭМС микрофонов и других микросистем. Версии MSA-600-X/U охватывают диапазон высоких и очень высоких частот до 2,5 ГГц, идеально подходя для оценки высокочастотных МЭМС-резонаторов, микроакустических устройств типа SAW, BAW и других.
Основные характеристики
Оптическая измерительная рабочая станция "все-в-одном" для микроструктур
Измерение отклика в реальном времени (не требуется постобработка)
Версии MSA-600-M/V с частотой до 25 МГц
Версии MSA-600-X/U с частотой до 2,5 ГГц
Непревзойденное субпм разрешение смещения
Быстрое измерение и визуализация формы прогиба
Простое и интуитивно понятное управление
Автоматизированная система для легкой интеграции в измерительные станции
Возможность импорта/экспорта для проверки FE-модели
Микросистемный анализатор MSA-600 обеспечивает повышенную гибкость и точность измерений, адаптируясь к потребностям современных и будущих микроструктур. Микросистемный анализатор предоставляет точные трехмерные данные о динамических и статических характеристиках, что повышает производительность устройств и снижает затраты на разработку и производство. Таким образом, он улучшает и сокращает циклы проектирования, упрощает поиск неисправностей и повышает выход продукции.
---