Конструктивные особенности
Компактный этап с перемещениями до 100 mm
кодировщик Низко-термального стекл-масштаба расширения линейный
привод шарик-винта Точност-земли
Сервопривод DC или stepper мотор
подшипники пересекать-ролика Анти--ползучести
Высокое разрешение (0,025 µm), повторимость (µm ±0.1) и точность (µm ±0.75)
Опционные waycovers мембран
Компактные конфигурации мульти-оси
MPS75SLE Aerotech компактный, высокопроизводительный линейный располагая этап предлагая преимущества обратной связи сразу измерения через линейный кодировщик. MPS75SLE идеальный этап высоко-точности для применений в оптике располагая, располагать z-оси датчиков в поверхностной метрологии, или высокоточном выравнивании. конфигурации этапа Мульти-оси можно легко собрать с другими MPS линейными и роторными этапами используя множество кронштейнов переходника и совместимость устанавливать своиственная во всей семье этапа MPS.
Ультра-точный дизайн
Земля точности, поджатый шарик-винт соединенный с линейным кодировщиком для того чтобы снабдить выдающую точность, повторимость и располагая возможность разрешения 25 nm. Подшипники пересекать-ролика анти--ползучести обеспечивают исключительно ровную емкость перемещения и высоко-нагрузки в компактном пакете.
---