Конструктивные особенности
Большая ясная апертура
Полное поджатие на всех осях
Двойное управляемое линейн мотор x и Y-osи
Внеконтактный линейный кодировщик для высокой точности
ABL3600 двойн-ось, большая апертура, открыт-рамка, этап воздушно-подшипника обращается к уникальным потребностям осмотра просматривая микроскопии и маски и вафли.
Дизайн и конструкция
Подшипники воздуха высокой жесткости сочетания из и двойные управляемые линейн мотор оси обеспечивают XY этап открыт-рамки с исключительными режимными характеристиками. ABL3600 представляет главный подъем в представлении над традиционными механическими нося этапами открыт-рамки.
Как со всеми системами воздушно-подшипника Aerotech, использованы собственнические технологии производства произвести этапы с unsurpassed геометрическими характеристиками включая прямоту, плоскостность, тангаж, крен и рыскание. ABL3600 изготовлено в производственном объекте Aerotech современном и подвергано механической обработке с взыскивать допуски которые unachievable обычными методами.
---