Конструктивные особенности
Интегрированный, низкопрофильный, XY, этап линейн-мотора
Превосходное геометрическое представление (прямота к µm ±0.4; плоскостность к µm ±1)
Анти--ползучесть, подшипники пересекать-ролика точности
Большой выбор – 9 моделей в перемещении и точности
Этапы PlanarDL-серий Aerotech предлагают превосходное геометрическое и динамические характеристики в компактном, пакет низкопрофильного. Разнообразие варианты перемещения и представления делают этот идеал этапа для применений выстраивая в ряд от поверхностной профилометрии к размечать вафли СИД.
Главный дизайн этапа
Дизайн PlanarDL XY учитывает ведущее в отрасли плоскостное геометрическое представление в применениях где прямота и плоскостность движения критические. Высокоточные подшипники пересекать-ролика анти--ползучести, который точност-подвергли механической обработке поверхности и моторы Aerotech линейные управляя через результат центр--жесткости осей в располагая этапе с исключительными геометрическими допусками.
---