Конструктивные особенности
Интегрированный, низкопрофильный, XY, этап линейн-мотора с ясной апертурой
Превосходное геометрическое представление (прямота к µm ±0.5, плоскостность к µm ±1.25)
Оптимизированный для высоко-динамических применений
Скорости до 2 m/s и ускорения к 2g
Интегрированное управление кабеля
Большой выбор - 9 моделей в перемещении и точности
Этапы PlanarDLA-серий Aerotech предлагают ясную апертуру, высокую динамику, и исключительное геометрическое представление в компактном, пакет низкопрофильного. Эти этапы необходимы для применений выстраивая в ряд от, который 2-встали на сторону вафли СИД обрабатывая где высоко-динамика и на уровне микрометр прямота необходимы, к quasistatic оптически метрологии где высоко-точность и точное геометрическое представление необходимы. Независимо от применения, PlanarDLA конструировано для того чтобы отвечать разнообразие потребностямы применения с массивом конфигурируемых вариантов.
Ультра-точный дизайн этапа
Дизайн PlanarDLA XY обеспечивает для несравненного плоскостного геометрического представления в применениях где прямота и плоскостность движения критические. Высокоточные подшипники ролика, который точност-подвергли механической обработке поверхности, и моторы внеконтактной безредукторной передачи линейные управляя через результат центр--жесткости осей в располагая этапе с исключительными геометрическими допусками (прямотой к µm ±0.5 и плоскостностью к µm ±1.25).
---