Конструктивные особенности
ось развертки Воздушно-подшипника; ось шага механически-подшипника
Двойная управляемая линейн мотор ось шага
Перемещение до 1,2 метра 1,2 метрами
Линейный кодировщик или обратная связь интерферометра лазера
AHL9000 самое последнее добавление к семье Aerotech этапов воздушно-подшипника и превосходный выбор для применений которые требуют осторожный балансировать цены и представления. Этот этап был конструирован для требуя применений которые требуют превосходного представления шага и развертки. Применения включают осмотр вафли, производство плоского экрана и оптически осмотр и изготовление.
Дизайн Гибрид-подшипника
Ось развертки AHL9000 была конструирована используя доказанную технологию воздушно-подшипника начатую для плоскостного подшипника воздуха ABL9000. Эта ось использует активное поджатие и на вертикальных и горизонтальных поверхностях для того чтобы обеспечить выдающие жесткость и динамические характеристики. AHL9000 также пользуется затратыэффективностью механической нося оси шага. Сочетание из эти 2 нося технологии в одном этапе обеспечивает систему которая оптимизирована для деятельности шага и развертки.
---