Конструктивные особенности
Система ведущего подшипника линейного движения длинной жизни
Ультра-точное разрешение
Объединенные waycovers мембран
Компактный дизайн низкопрофильного
Точность субмикрона
Кодировщик опционной высоко-точности линейный
Этапы серии ATS150 с механическим приводом линейные обеспечивают высокие разрешение и повторимость необходимы для испытания и изготовления вафли полупроводника, автоматизированные системы контроля микроскопа и применения точности micromachining.
Особенности конструкции
Этапы серии ATS150 подвергаются механической обработке от особенного сплава литого алюминия для того чтобы обеспечить высоко- прочность - коэффициент и долгосрочная стабильность к-веса. Основание дизайн коробки который обеспечивает исключительные жесткость и стабильность.
Этапы серии ATS150 используют винт шарика точност-земли который поджат для того чтобы исключить отрицательную реакцию, и своя гайка имеет счищатели для предотвращения загрязнения и для поддержания высокой точности в течении жизни этапа. Высококачественные, поджатые двухшпиндельные подшипники использованы для того чтобы исключить осевую игру.
---